Сообщение №82629685

и еще немного информации по теме "оборудавание никто не продает":
По информации ещё от 2012-го года, разработкой оптической системы и ее элементов для фотолитографических установок, работающих на длине волны 13,5 нм, и прототипа самой установки занимается в Институте физики микроструктур (ИМФ) РАН в Нижнем Новгороде член-корреспондент РАН Николай Салащенко. На сегодняшний день институт занимает одно из лидирующих мест в мире в рентгенооптике. Так что один из ключевых компонентов, зеркала, у нас фактически есть. Тем более, что они уже (неожиданно) разрабатывали их для ASML.

Источник излучения создается под руководством ведущего научного сотрудника Константина Кошелева в Институте спектроскопии (ИСАН) РАН в подмосковном Троицке. Они тоже разрабатывали источник излучения в интересах ASML (столь же неожиданно, правда?). Так что и здесь всё очень даже неплохо.