65нм у нас уже освоили, меньше пока нет, но для нужд обороны и космонавтики меньше пока и не надо. Те же МЦСТ к слову свои процы на ТП 14нм и меньше тоже разрабатывают, только делать их они будут на мощностях TSMC тупо потому что закупить у ASML оборудование для таких техпроцессов дорого + очередь на сканеры у них расписана на годы вперёд +не факт что продадут из-за санкций. А свои сканеры разрабатывать с нуля это просто космические деньги надо в это вбухать. | 
